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镀层厚度测量是评价电镀工艺好坏和电镀产品是否符合技术规范要求的一种重要手段。电镀厚度检测方法有破坏法和非破坏法两大类。破坏法主要有显微镜法、库仑法、重量法、轮廓仪法、扫描电镜法，非破坏法主要有磁性法、涡流法、X射线光谱法等。
不同镀层厚度检测方法之比较:
检测方法 | 测试标准 | 适用范围 |
显微镜法 （金相法） | GB/T 6462 ISO 1463 ASTM B487 JIS H 8501 | 适合测量单层或多层金属覆盖层厚度 镀层厚度不小于0.8μm 测量范围：1∽数百μm |
库仑法 | GB/T 4955 ISO 2177 ASTM B504 JIS H 8501 | 适合测量单层或多层金属覆盖层厚度 常测镀层种类：Au、Ag、Zn、Cu、Ni、Cr 测量范围：0.25∽100μm |
磁性法 | GB/T 4956 ISO 2178 ASTM B499 JIS H 8501 | 适用于磁性基体上的非磁性覆盖层厚度测量 测量范围：5∽7500μm |
涡流法 | GB/T 4957 ISO 2360 ASTM B244 JIS H 8501 | 适合测量非磁性基体上非导电覆盖层和非导体上金属覆盖层厚度 测量范围：5∽2000μm |
X-射线光谱法 | GB/T 16921 ISO 3497 ASTM B568 JIS H 8501 | 可测量最多三层的金属覆盖层厚度 测量范围：0.25∽30μm |
扫描电镜法（SEM） | GB/T 31563 ISO 9220 ASTM B748 JIS H 8501 | 适合测量单层或多层金属覆盖层厚度 测量范围：1∽数百μm |
标准参考：
GB/T 6462-2005 金属和氧化物覆盖层 厚度测量 显微镜法
GB/T 4955-2005 金属覆盖层 覆盖层厚度测量 阳极溶解库仑法
GB/T 4956-2003 磁性基体上非磁性覆盖层 覆盖层厚度测量 磁性法
GB/T 4957-2003 非磁性基体金属上非导电覆盖层 涡流法
GB/T 16921-2005 金属覆盖层覆盖层 厚度测量 X射线光谱方法
GB/T 31563-2015 金属覆盖层 厚度测量 扫描电镜法
ASTM B487-24通过横截面显微镜检查测量金属和氧化物涂层厚度的标准试验方法
ASTM B504-90(2023) 用库仑法测量金属镀层厚度的标准试验方法
ASTM B499-09(2021)e1 用磁性法测量磁性基体金属上的非磁性涂层的涂层厚度的标准试验方法
ASTM B244-09(2021) 用涡流仪测量铝阳极涂层及其它非磁性基体金属非导电涂层厚度的标准试验方法
ASTM B568-98(2021) 用X射线光谱仪测量覆盖层厚度的标准试验方法
ASTM B748-90(2021) 金属覆盖层厚度测量 扫描电镜法
JIS H 8501:1999 金属覆盖层厚度试验方法
